[其他]氮氧钛喷镀膜无效
| 申请号： | 88101654 | 申请日： | 1988-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN88101654A | 公开（公告）日： | 1988-11-02 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·霍华德·吉勒里 | 申请（专利权）人： | PPG工业公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;C03C17/36;G02B1/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 隗永良 |
| 地址： | 美国宾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种氮氧化钛膜，其制备方法，以及由氮氧化钛与其它含金属膜一起组成的镀膜制品。 | ||
| 搜索关键词： | 氮氧钛喷 镀膜 | ||
【主权项】：
1、一种制造氮氧化钛镀膜制品的方法，包括以下步骤：a.将基底置于镀膜室中；b.将该室抽真空；c.在该室中形成由氧和氮组成的气氛；d.在该室内面对上述基底的表面放置一个钛阴极；e.在该室内于氧和氮组成的气氛中溅射钛阴极，由此在基底表面上沉积一氮氧化钛镀膜。
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