[其他]氮氧钛喷镀膜

权利要求书

1、一种制造氮氧化钛镀膜制品的方法，包括以下步骤：

a.将基底置于镀膜室中；

b.将该室抽真空；

c.在该室中形成由氧和氮组成的气氛；

d.在该室内面对上述基底的表面放置一个钛阴极；

e.在该室内于氧和氮组成的气氛中溅射钛阴极，由此在基底表面上沉积一氮氧化钛镀膜。

2、根据权利要求1的方法，其中的基底为玻璃。

3、根据权利要求1的方法，其中所说的气氛由10至50%的氧和50至90%的氮组成。

4、一种制造低辐射率镀膜制品的方法，它包括以下步骤：

a.在一个透明基底上沉积第一层氮氧化钛;

b.在该透明基底上沉积由强烈反射红外线的金属膜构成的第二层膜。

5、根据权利要求4的方法，其中基底为玻璃。

6、根据权利要求4的方法，包括进一步沉积由氮氧化钛组成的第三层膜的步骤。

7、根据权利要求6的方法，其中的各层是用溅射法沉积的。

8、根据权利要求4的方法，其中第一层的氮氧化钛沉积在玻璃基底上，氮氧化钛之上沉积一层银，银上面沉积第二层氮氧化钛。

9、一种制造彩色建筑用制品的方法，包括以下步骤：

a.在氧和氮组成的气氛中溅射钛，在基底的表面上沉积一氮氧化钛膜;

b.在惰性气氛中溅射一种金属，在上述基底表面上沉积金属膜。

10、根据权利要求9的方法，其中基底为玻璃。

11、根据权利要求9的方法，还包括溅镀第二层金属膜。

12、根据权利要求11的方法，其中的氮氧化钛膜是溅镀在第一和第二金属膜之间。

13、根据权利要求12的方法，其中所述的金属选自镍合金、铁合金和钛。

14、一种镀膜制成品，包括：

a.一个透明基底;

b.一层氮氧化钛膜;

c.一层金属膜。

15、根据权利要求14的制品，其中基底为玻璃并且还有第二层金属膜，其中所说的氮氧化钛膜是沉积在第一与第二金属膜之间。

16、根据权利要求15的制品，其中所述的金属膜选自镍合金、不锈钢、钛和它们的混合物。

17、一种用来反射太阳能的制品，包括：

a.一个透明基底;

b.一层氮氧化钛透明膜;和

c.一层强烈反射红外线的透明的金属膜。

18、根据权利要求17的制品，其中基底为玻璃。

19、根据权利要求17的制品，它还有一第二金属膜，能减少膜制品的总的光反射能力。

20、根据权利要求19的制品，其中所述的第二金属膜由金属合金构成，该合金选自镍合金与铁合金。

21、根据权利要求20的制品，其中金属合金选自不锈钢和因科镍合金。

22、一种制造反射太阳能的镀膜制品的方法，包括以下步骤：

a.在基底表面上溅射一氮氧化钛的透明镀膜;

b.与所述的氮氧化钛膜相结合，溅射一强烈反射红外线的透明的金属膜。

23、根据权利要求22的一种方法，其中基底为玻璃。

24、根据权利要求23的一种方法，它还包括溅镀第二层金属膜，该膜能降低镀膜制品的光反射能力。

25、根据权利要求24的一种方法，其中所述的第二金属膜是由铁合金和镍合金中选择的金属合金。