[其他]升华泵泵体无效
| 申请号： | 87207315 | 申请日： | 1987-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN87207315U | 公开（公告）日： | 1988-03-09 |
| 发明（设计）人： | 郑主安 | 申请（专利权）人： | 上海真空泵厂 |
| 主分类号： | F04B37/02 | 分类号： | F04B37/02 |
| 代理公司： | 上海市机电工业管理局专利事务室 | 代理人： | 夏永兴 |
| 地址： | 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及获得高真空的吸附抽吸泵的泵体。泵体由泵底、本体部分和接头组成、本体部分为波纹管异型不锈钢型材制成，壁厚仅0.6-1毫米，与泵底和接头焊接成一整体。本实用新型的新结构，经试验结果，不需冷却装置，就能达到设计要求，必要时，也可增设风扇，进行强制通风，以提高冷却效果，本设计大大简化了升华泵泵体的结构，便于制造和降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 升华 泵泵体 | ||
【主权项】：
1、升华泵泵体，它由不锈钢制成，由泵底、本体和接头组成，其特征是本体部分为波纹管型材结构，与泵底、接头焊接成一整体。
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- 徐晓强;赵彦弘;张庆猛;郭德宇;李洋;游孟园;王禄禄 - 有研工程技术研究院有限公司
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- 本实用新型涉及一种吸气剂微泵，属于电真空元件制造技术领域。该吸气剂微泵由热子型吸气剂、电极杆、T型玻璃管和圆形玻璃片等组成，热子型吸气剂由具有绝缘层的加热丝及涂覆在加热丝绝缘层上的吸气材料构成，两个电极杆分别连接在热子型吸气剂的加热丝两端，圆形玻璃片封盖在T型玻璃管的一端，热子型吸气剂和部分电极杆真空密封在T型玻璃管中，两个电极杆的一端通过圆形玻璃片上的两个圆孔露出在T型玻璃管的外部。本实用新型的吸气剂微泵提高了吸气剂的贮存寿命，具有安装方便、激活使用方便、吸气性能优良等特点。
- 一种内加热式吸气剂泵-201811547643.2
- 郭德宇;王禄禄;徐晓强;杨志民 - 有研工程技术研究院有限公司
- 2018-12-18 - 2020-02-18 - F04B37/02
- 本发明涉及一种内加热式吸气剂泵，包括吸气元件1、支撑体、定位板5、底座6，所述支撑体包括中心支撑棒2与圆筒状镂空薄壳4，所述中心支撑棒2与所述圆筒状镂空薄壳4通过定位板5相连；所述定位板5和圆筒状镂空薄壳4通过中心支撑棒2固定到所述底座6上；泵体具有多个吸气元件1，并通过细金属棒11均布地固定在定位板5上；底座6为高真空CF法兰，以螺纹形式连接泵体中心支撑棒2，并通过可伐合金内嵌四个真空电极7，连接泵体内部加热系统、热电偶和外部电源。本发明的内加热式吸气剂泵采用内加热型柱状吸气元件，加热效率高、激活均匀，并具有较高的吸气速率。
- 一种多工位的真空排气台-201920142586.3
- 司媛媛;刘纯;孟大伟;付宪阳 - 北京哲勤科技有限公司
- 2019-01-25 - 2019-10-01 - F04B37/02
- 本实用新型公开一种多工位的真空排气台，涉及排气台的技术领域，其包括相联通的离子泵以及真空室，还包括若干个单向阀以及真空压力计，所述真空室联通有至少两根连接管，所述连接管背离真空室的一端设置有用于连接的法兰。本实用新型具有能够对多个工位同时抽真空的效果。
- 一种大抽速结构紧凑的组合泵-201711386950.2
- 郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 - 南京华东电子真空材料有限公司
- 2017-12-20 - 2019-09-24 - F04B37/02
- 本发明是一种大抽速结构紧凑的组合泵，由溅射离子泵和吸气剂泵组合而成，它包括一个或多个阳极室并联组成的用以连接高压的阳极筒，以及至少一个装在阳极室内、具有加热结构并且含有多孔吸气材料的吸气剂泵，工作时，放置在真空腔体中，将阳极筒连接至高压直流电源的阳极，将多孔吸气材料连接到高压直流电源的接地端，抽真空后通过加热元件将吸气剂泵通电激活，再在阳极筒周围加上磁场。优点：大大缩小了组合泵的体积，使得结构更为紧凑；在阳极室内的阴极溅射得更为强烈，因此具有更大的抽速；再者，多种成分的多孔吸气材料溅射出的吸气薄膜比传统的钛膜具有更大的吸气速度。
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