[发明专利]液氮温区超导薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 87102739.9 | 申请日： | 1987-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN1004951B | 公开（公告）日： | 1989-08-02 |
| 发明（设计）人： | 赵柏儒;王会生;陆勇;史引焕;赵玉英;李林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01B12/06 | 分类号： | H01B12/06;C22C29/12 |
| 代理公司： | 中国科学院物理研究所专利办公室 | 代理人： | 张爱莲 |
| 地址： | 北京6*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的液氮温区超导薄膜制备工艺，按AxB5-xCu5O5(3-y)或AxB1-xCuO3-y体系制成化合物靶，其中A＝Ca，Sr，Ba；B＝Sc，Y，La；X＝0.5-0.6；Y＝0.5-1；后者体系X＝0.3-0.7。用直流(或射频)磁控拣射和热处理工艺，工艺简单、可重复，稳定性好。制备的薄膜厚度0.5-1μm，在液氮温区呈现超导，用电阻法或感应法可测量其薄膜的超导电性。 | ||
| 搜索关键词： | 液氮 超导 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超导薄膜的制备方法，其特征是压铸成型高温烧结的化合物靶，直流(或射频)磁控充氩溅射和热处理工艺过程，并制成液氮温区超导薄膜。
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