[发明专利]液氮温区超导薄膜及其制备方法

权利要求书

1、一种超导薄膜的制备方法，其特征是压铸成型高温烧结的化合物靶，直流（或射频）磁控充氩溅射和热处理工艺过程，并制成液氮温区超导薄膜。

2、根据权利要求1所述的方法，其特征是化合物靶按A_xB_5-xCu₅O_5（3-y）体系或按A_xB_1-xCuO_3-y体系的四元氧化物制成，其中A＝Ca，Sr，Ba，B＝Sc，Y，La，X＝0.5-0.6，Y-0.5-1，后者体系X＝0.3-0.7，选用市售纯度的原料混合研磨，在700-850℃预烧3-8小时，取压强为1-2吨/cm²，压铸成型，再经850-1000℃烧结10-15小时，化合物靶呈黑色，尺寸为直径60-65毫米，厚度为3-5毫米。

3、根据权利要求1所述的方法，其特征是溅射条件：

（1）溅射室的背景真空度为1×10^-5乇，

（2）Ar气氛压强为（2-8）×10^-2乇，可附加充氧，调节膜的氧含量，

（3）基片材料为白宝石（Al₂O₃）或石英片或氧化锆，基片加温范围200-600℃，

（4）直流溅射电压为200-500V或射频溅射电压为1.5-2KV，

（5）溅射时间为0.5-2小时。

4、根据权利要求1所述的方法，其特征是在700-900℃温度范围内对膜进行热处理。

5、根据权利要求1所述的方法所制备的薄膜，其特征在于用该方法所制备的薄膜厚度为0.5-1μm，并在液氮温区呈现超导。