[实用新型]基板载体系统和运输设备有效

专利信息
申请号: 202320955668.6 申请日: 2023-04-25
公开(公告)号: CN219709569U 公开(公告)日: 2023-09-19
发明(设计)人: S·奥尔霍恩;J·克劳斯;R·库南兹;M·迪默;C·波斯卢兹尼;R·西伯特 申请(专利权)人: 冯·阿登纳资产股份有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 北京市铸成律师事务所 11313 代理人: 王珺;李文颖
地址: 德国德*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 各种实施方式涉及基板载体系统和运输设备。该基板载体系统(100)包括:基板接收区域(120);底板(110),底板具有对基板接收区域限界的基板支承面(111),接收在基板接收区域(120)中的基板(121)可以放置在基板支承面上;其中底板(110)具有至少一个纵向延伸的槽(112),该槽沿第一方向对基板支承面(111)限界;至少一个条带(130),该条带插入槽(112)中,条带以第一部段(131)接合到基板接收区域下方并且以第二部段(132)侧向地对基板接收区域(120)限界。
搜索关键词: 载体 系统 运输设备
【主权项】:
暂无信息
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