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[实用新型]基板载体系统和运输设备-CN202320955668.6有效
发明人： S·奥尔霍恩;J·克劳斯;R·库南兹;M·迪默;C·波斯卢兹尼;R·西伯特 -专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：各种实施方式涉及基板载体系统和运输设备。该基板载体系统(100)包括：基板接收区域(120)；底板(110)，底板具有对基板接收区域限界的基板支承面(111)，接收在基板接收区域(120)中的基板(121)可以放置在基板支承面上；其中底板(110)具有至少一个纵向延伸的槽(112)，该槽沿第一方向对基板支承面(111)限界；至少一个条带(130)，该条带插入槽(112)中，条带以第一部段(131)接合到基板接收区域下方并且以第二部段(132)侧向地对基板接收区域(120)限界。
载体系统运输设备

[实用新型]真空设备和真空设备部件-CN202320911178.6有效
发明人： R·库南兹;S·奥尔霍恩 -专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：真空设备和真空设备部件。该真空设备(100)包括：具有工艺处理区域(111)的真空室(110)；用于借助于工艺在工艺处理区域(111)中对衬底(241)进行工艺处理的工艺处理设备(120)，其中气态材料(150)被发射到工艺处理区域(111)中；和预制的积聚表面结构(230)，该积聚表面结构具有多个不平坦部(231)，用于积聚气态材料(150)；其中多个不平坦部(231)借助于嵌入预制的积聚表面结构(230)的结构材料中的固体颗粒或借助于结构材料的激光结构化来提供。
真空设备部件