[实用新型]一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置有效

专利信息
申请号: 202320748649.6 申请日: 2023-04-07
公开(公告)号: CN219508003U 公开(公告)日: 2023-08-11
发明(设计)人: 文晓斌 申请(专利权)人: 金迈克(潍坊)新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 261000 山东省潍坊市坊子区凤凰*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置,包括外壳,所述外壳的内壁上固定连接有固定箱,所述固定箱的侧壁上固定连接有减速电机,所述减速电机的输出端贯穿固定箱的侧壁并固定连接有蜗杆,所述蜗杆上啮合连接有蜗轮。本实用新型,通过减速电机、蜗杆和蜗轮的配合设置,可以带动双向螺纹杆转动,双向螺纹杆通过螺纹套和两个连接杆可以带动第一L型挡板和第二L型挡板相对移动并相抵,通过第一L型挡板和第二L型挡板可以对靶材进行遮挡,防止靶材的靶面受到污染,不影响真空镀膜机的正常使用,从而提高了装置的实用性,而且此时插板会插入到卡槽中,增加密封性,进一步提高对靶材遮挡的效果,防止靶材受到污染。
搜索关键词: 一种 伸展 收缩 真空镀膜 阴极 保护装置
【主权项】:
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