[实用新型]一种干法刻蚀机台线圈结构有效
| 申请号： | 202320721212.3 | 申请日： | 2023-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN219716802U | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 方文倩 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了干法刻蚀机台线圈结构，其特征在于：包括多个线圈单元，所述线圈单元首尾可拆卸连接构成干法刻蚀机台所需的线圈结构。本实用新型干法刻蚀机台线圈结构，结构简单，便于控制调节线圈圈数，适用不同工艺要求，具有较强的实用性和较好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 机台 线圈 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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