[实用新型]一种晶圆手臂立式风干机构有效
| 申请号： | 202320508607.5 | 申请日： | 2023-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN219624434U | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 王宏声;郭占旗;葛成重 | 申请（专利权）人： | 北京日扬弘创科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 刘子钰 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区青*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆手臂立式风干机构,包括风机外罩；风机外罩内设置有风刀组件；风刀组件的下方设置有阻风立板；阻风立板的下侧设置有阻风横板；阻风立板与风机外罩之间形成第一风腔和第二风腔；阻风横板与风机外罩之间形成第三风腔；第三风腔内设置有导风机构；第三风腔与负压管道相接。通过在风机外罩内设置风刀组件，以及阻风立板和阻风横板；从风刀组件向风机外罩内引入高速氮气气流，对晶圆和晶圆手臂同时进行洁净化的风干处理；在风干处理过程中，水流会向下低落于第三风当中排出；经过阻风立板和阻风横板进入到第一风腔、第二风腔和第三风腔，在导风机构的引导之下进行抽取排放，可合理疏导气流方向和三个风腔的风量，高效排出废气。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 手臂 立式 风干 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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