[实用新型]一种兆声波清洗装置的水槽结构有效
| 申请号： | 202320430470.6 | 申请日： | 2023-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN219851099U | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 陈龙;吴凌峰;刘大威 | 申请（专利权）人： | 江苏启微半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 杜冰云;周涛 |
| 地址： | 226299 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种兆声波清洗装置的水槽结构，包括设置于兆声波盛水盘内的内槽、以及设置于内槽外侧并使其上边沿低于内槽上边沿的外槽，内槽的上部设置有管口贯穿外槽的水阻值计套管、下部设置有内槽进液管和内槽排液管，所述外槽的底部设计成前高后低的倾斜结构，且所述外槽后部的最低点处连接有外槽排液管，所述外槽排液管的排液流量大于所述内槽进液管的进液流量。本实用新型通过在内槽的外侧设置导流用的外槽，可使内槽内的液体溢流进外槽，避免溢流液体对兆声波装置造成影响，确保兆声波能够更好的去除晶圆片上的附着颗粒物，有效保证了晶圆清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 清洗 装置 水槽 结构 | ||
【主权项】：
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