[实用新型]一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉有效
申请号: | 202320343894.9 | 申请日: | 2023-02-28 |
公开(公告)号: | CN219513121U | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
发明(设计)人: | 张靖;何飞;何其金 | 申请(专利权)人: | 扬州新瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/223;C30B31/10 |
代理公司: | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人: | 马垚 |
地址: | 225600 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了topcon电池片生产用扩散炉技术领域的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,包括扩散炉,扩散炉左侧壁通过转轴安装设有炉门,扩散炉内设有隔板,隔板右侧设有搅动机构,扩散炉右侧壁贯穿连通设有第一进气管和第二进气管,抽气泵进气端连接设有抽气管,抽气管一端位于扩散炉内部,抽气泵出气端连接设有出气管,本实用在搅动机构的配合下能够对气体进行充分混合,然后在抽气管、抽气泵和出气管的配合下能够将混合气体抽送到出风套管内,然后在均风板的作用下能够将混合气体均匀的扩散到扩散炉内,出风口呈圆台状设置,能够使得混合气体排出的时候更加均匀,从而能够对扩散炉内的topcon电池片扩散均匀,提高扩散均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩散 均匀 topcon 电池 生产 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的