[实用新型]一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉有效

专利信息
申请号: 202320343894.9 申请日: 2023-02-28
公开(公告)号: CN219513121U 公开(公告)日: 2023-08-11
发明(设计)人: 张靖;何飞;何其金 申请(专利权)人: 扬州新瑞光电科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/223;C30B31/10
代理公司: 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 代理人: 马垚
地址: 225600 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了topcon电池片生产用扩散炉技术领域的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,包括扩散炉,扩散炉左侧壁通过转轴安装设有炉门,扩散炉内设有隔板,隔板右侧设有搅动机构,扩散炉右侧壁贯穿连通设有第一进气管和第二进气管,抽气泵进气端连接设有抽气管,抽气管一端位于扩散炉内部,抽气泵出气端连接设有出气管,本实用在搅动机构的配合下能够对气体进行充分混合,然后在抽气管、抽气泵和出气管的配合下能够将混合气体抽送到出风套管内,然后在均风板的作用下能够将混合气体均匀的扩散到扩散炉内,出风口呈圆台状设置,能够使得混合气体排出的时候更加均匀,从而能够对扩散炉内的topcon电池片扩散均匀,提高扩散均匀性。
搜索关键词: 一种 扩散 均匀 topcon 电池 生产
【主权项】:
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