[实用新型]一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉

说明书

本实用新型公开了topcon电池片生产用扩散炉技术领域的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉，包括扩散炉，扩散炉左侧壁通过转轴安装设有炉门，扩散炉内设有隔板，隔板右侧设有搅动机构，扩散炉右侧壁贯穿连通设有第一进气管和第二进气管，抽气泵进气端连接设有抽气管，抽气管一端位于扩散炉内部，抽气泵出气端连接设有出气管，本实用在搅动机构的配合下能够对气体进行充分混合，然后在抽气管、抽气泵和出气管的配合下能够将混合气体抽送到出风套管内，然后在均风板的作用下能够将混合气体均匀的扩散到扩散炉内，出风口呈圆台状设置，能够使得混合气体排出的时候更加均匀，从而能够对扩散炉内的topcon电池片扩散均匀，提高扩散均匀性。

技术领域

本实用新型涉及topcon电池片生产用扩散炉技术领域，具体为一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉。

背景技术

topcon电池片是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触的太阳能电池，topcon电池片在生产的时候需要使用扩散炉进行扩散，扩散工序是整个topcon电池片制备中的最关键的工序，扩散工序生成PN结，而PN结的均匀性、可控性一直是太阳能电池研究领域的重点，通常使用三氯氧磷作为磷源进行气源携带扩散，扩散炉在对topcon电池片进行扩散的时候，因为扩散需要氧气和其他气体，现有扩散炉不方便对气体进行混合，导致在其进行扩散时，扩散不够均匀，扩散均匀性较差，因此，需要一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉，包括扩散炉，所述扩散炉底部设有四组支撑腿，四组支撑腿在所述扩散炉底部呈矩形阵列分布，所述扩散炉左侧壁通过转轴安装设有炉门，所述扩散炉内设有隔板，所述隔板右侧设有搅动机构，所述扩散炉右侧壁贯穿连通设有第一进气管和第二进气管，所述隔板左侧设有出风套管，所述出风套管底部设有均风板，所述扩散炉顶部设有抽气泵，所述抽气泵进气端连接设有抽气管，所述抽气管一端位于扩散炉内部，所述抽气泵出气端连接设有出气管，所述出气管一端与出风套管内部相连通。

进一步的，所述均风板顶部均开设有出风口，所述出风口呈圆台状设置。

进一步的，所述出风套管顶部左右两侧均设有连接杆，两组连接杆一端均与扩散炉内顶部相连接。

进一步的，所述抽气管一端位于隔板右侧。

进一步的，所述搅动机构包括隔板右侧设有的搅动杆，所述搅动杆一端贯穿扩散炉内顶部与外部设有的从动齿轮相连接，所述搅动杆外壁均匀设有搅动片，所述搅动杆顶部设有从动齿轮，所述扩散炉顶部设有电机，所述电机输出端连接设有与从动齿轮相啮合的主动齿轮。

进一步的，所述扩散炉顶部开设有通孔，所述搅动杆外壁套接安装设有轴承，轴承与通孔内壁相匹配。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用在搅动机构的配合下能够对气体进行充分混合，然后在抽气管、抽气泵和出气管的配合下能够将混合气体抽送到出风套管内，然后在均风板的作用下能够将混合气体均匀的扩散到扩散炉内，出风口呈圆台状设置，能够使得混合气体排出的时候更加均匀，从而能够对扩散炉内的topcon电池片扩散均匀，提高扩散均匀性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型出风套管和均风板结构示意图。

图中：1、扩散炉；2、第一进气管；3、第二进气管；4、隔板；5、搅动机构；50、电机；51、主动齿轮；52、从动齿轮；53、搅动片；54、搅动杆；6、抽气管；7、抽气泵；8、出气管；9、出风套管；10、连接杆；11、炉门；12、均风板；13、出风口。

具体实施方式