[实用新型]一种分流盘及单晶炉

摘要

本实用新型提供一种分流盘及单晶炉，分流盘包括分流盘本体，分流盘本体上设有中心孔、进气口、第一流道和多个第一气孔，多个第一气孔沿第一流道的延伸方向间隔排布，第一气孔的上端连通第一流道，第一气孔的下端朝向中心孔的一侧朝向中心孔倾斜、背向中心孔的一侧背向中心孔向外倾斜。此结构的分流盘，用于单晶炉时，将其固定于炉室顶部封板的底部，氩气经进气口进入分流盘本体，再依次流通至第一流道和第一气孔，经第一气孔流出扩散至炉室内。由于第一气孔的下端朝向和背相中心孔的两侧背向相下倾斜，使氩气气流可沿炉室的径向均匀扩散，朝向中心孔倾斜的第一气孔可使氩气气流扩散至中心孔下方的炉室内，保证炉室内氩气气流均匀分布。