[实用新型]一种分流盘及单晶炉

权利要求书

1.一种分流盘，其特征在于，包括：

分流盘本体(11)，所述分流盘本体(11)上设有中心孔(111)、进气口(112)、第一流道(113)和多个第一气孔(114)，所述进气口(112)和所述第一流道(113)均设于所述中心孔(111)外侧，所述进气口(112)连通所述第一流道(113)；多个所述第一气孔(114)沿所述第一流道(113)的延伸方向间隔排布，所述第一气孔(114)的上端连通所述第一流道(113)，所述第一气孔(114)的下端朝向所述中心孔(111)的一侧朝向所述中心孔(111)倾斜、背向所述中心孔(111)的一侧背向所述中心孔(111)向外倾斜。

2.根据权利要求1所述的分流盘，其特征在于，所述第一气孔(114)呈圆台形，所述第一气孔(114)的底部直径大于其上部直径。

3.根据权利要求2所述的分流盘，其特征在于，所述第一气孔(114)竖直设于所述分流盘本体(11)上，所述第一气孔(114)的孔壁与其相交的竖直面的夹角为6°-8°。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的分流盘，其特征在于，所述第一流道(113)为环形流道，多个所述第一气孔(114)沿所述第一流道(113)的周向等间隔排布。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的分流盘，其特征在于，所述第一流道(113)设于所述进气口(112)外侧；

分流盘(1)还包括分流流道(115)，所述进气口(112)、所述第一流道(113)和所述分流流道(115)均由所述分流盘本体(11)的顶面向下内凹成型，所述分流流道(115)的两端分别连通所述进气口(112)和所述第一流道(113)。

6.根据权利要求5所述的分流盘，其特征在于，所述进气口(112)设有至少一个，每个所述进气口(112)的两侧分别设置一个所述分流流道(115)，每个所述进气口(112)的两侧的所述分流流道(115)关于所述进气口(112)对称设置。

7.根据权利要求5所述的分流盘，其特征在于，还包括第二流道(116)、多个过渡流道(117)和多个第二气孔(118)，所述第二流道(116)和所述过渡流道(117)均由所述分流盘本体(11)的顶面内下内凹成型；

所述第二流道(116)设于所述分流流道(115)与所述第一流道(113)之间，所述第二流道(116)一侧连通所述分流流道(115)、另一侧通过所述过渡流道(117)连通所述第一流道(113)；

多个所述第二气孔(118)沿所述第二流道(116)的延伸方向间隔排布，所述第二气孔(118)的上端连通所述第二流道(116)，所述第二气孔(118)的下端朝向所述中心孔(111)的一侧朝向所述中心孔(111)倾斜。

8.根据权利要求7所述的分流盘，其特征在于，所述第二气孔(118)的纵截面呈直角三角形；和/或

所述第二流道(116)为环形流道，多个所述第二气孔(118)沿所述第二流道(116)的周向等间隔排布；和/或

所述第二气孔(118)上端的流通面积小于所述第一气孔(114)上端的流通面积。

9.根据权利要求7所述的分流盘，其特征在于，所述分流盘本体(11)呈圆盘状，多个所述过渡流道(117)沿所述分流盘本体(11)的周向等间隔排布，每个所述过渡流道(117)沿所述分流盘本体(11)的径向延伸。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的分流盘、炉室(2)和封板(3)，所述封板(3)设于所述炉室(2)顶部，所述分流盘(1)固定于所述封板(3)底部，所述封板(3)上设有与所述进气口(112)连通的导气孔(31)。