[实用新型]一种样品台底座、样品台组件及MPCVD设备

摘要

本实用新型涉及微波等离子体技术领域，具体而言，涉及一种样品台底座、样品台组件及MPCVD设备，所述样品台底座设置有平底盲孔，所述平底盲孔底面设置有第一通孔和第一环形凹槽，所述第一环形凹槽环绕第一通孔设置，所述第一环形凹槽底面均匀设置有多个第二通孔，所述平底盲孔底面与第一通孔的孔壁之间设置有倒角，所述平底盲孔、第一通孔与第一环形凹槽同轴，提供了一种散热结构易于加工、散热效果较好、被散热部位温差较小的样品台底座。