[实用新型]一种用于光学干涉测量设备的多轴驱动机构有效
| 申请号： | 202320302234.6 | 申请日： | 2023-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN219200628U | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 刘云超 | 申请（专利权）人： | 上海乾曜光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;F16M11/04;G01J3/45;G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海维卓专利代理有限公司 31409 | 代理人： | 王林 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及光学干涉精密测量仪器领域，公开了一种用于光学干涉测量设备的多轴驱动机构，包括支撑架，支撑架上设置有用于放置干涉仪并带动干涉仪沿水平面方向进行滑动的滑移组件，支撑架内沿竖直方向滑动设置有升降板，升降板上以水平方向为轴线转动设置有摆动座，摆动座上以竖直方向为轴线转动设置有用于安放检测样品的样品台。本申请具有能够通过采用样品台和摆动座，样品台可带动检测样品在摆动座上相对于干涉仪进行旋转动，摆动座可通过样品台带动检测样品相对于干涉仪进行摆动，从而增加了检测样品与干涉仪之间可调角度，使得检测样品的调节更加方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光学 干涉 测量 设备 驱动 机构 | ||
【主权项】：
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