[实用新型]一种金属掩膜板有效
申请号: | 202320216814.3 | 申请日: | 2023-02-10 |
公开(公告)号: | CN219297624U | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 李泽鹏;刘雪;秦晓东;沈毅祥;金光哲 | 申请(专利权)人: | 海宁奕诺炜特科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 张进 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供一种金属掩膜板,包括上层金属掩膜板和下层金属掩膜板,上层金属掩膜板开设有若干引脚孔,上层金属掩膜板部分设置于下层金属掩膜板顶部,上层金属掩膜板与下层金属掩膜板可拆卸固定连接,上层金属掩膜板邻近下层金属掩膜板一侧开设有若干滑槽,下层金属掩膜板相对应滑槽固定有滑块,滑块与滑槽滑动配合,下层金属掩膜板邻近上层金属掩膜板一侧开设有卡槽,上层金属掩膜板相对应卡槽设置有卡块,卡槽与卡块可拆卸固定连接,本实用新型利用上层金属掩膜板开设若干引脚孔可对基板托盘引脚进行固定,下层金属掩膜板与上层金属掩膜板连接,对引脚孔进行遮盖,避免过多材料沉积在基板托盘引脚上且防止材料从引脚孔流至上层金属掩膜板背部。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 掩膜板 | ||
【主权项】:
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