[实用新型]载片装置及探针台设备

摘要

本实用新型涉及一种载片装置及探针台设备，载片装置包括底座、支撑组件及多个隔热柱。在对待测组件进行测试时，待测器件能够放置于支撑组件的承载面，再由支撑组件对承载面进行温度调节，便可使待测器件处于低温、常温或高温环境中。而且，支撑组件通过多个隔热柱与底座连接，支撑组件与底座之间大部分区域由空气填充，由于空气的导热系数较低，故支撑组件与底座之间的热传导效率较低。因此，虽然支撑组件在三温测试过程中的温度跨度较大，但底座的温度能够维持相对稳定，从而避免底座与探针台主体的结合处因温差过大而发生较大的形变，进而防止承载面倾斜。可见，上述载片装置及探针台设备能够较好地适用于三温测试。