[实用新型]载片装置及探针台设备

权利要求书

1.一种载片装置，其特征在于，包括：

底座；

支撑组件，具有用于承载并吸附待测器件的承载面，所述支撑组件能够在预设温度范围内对所述承载面的温度进行调节；及

多个隔热柱，多个所述隔热柱设置于所述底座与所述支撑组件之间，并将所述支撑组件连接于所述底座上。

2.根据权利要求1所述的载片装置，其特征在于，所述支撑组件包括吸盘及冷却盘，所述冷却盘内开设有冷却流道，所述吸盘连接于所述冷却盘，所述承载面位于所述吸盘的吸附面，多个所述隔热柱将所述冷却盘连接于所述底座上。

3.根据权利要求1所述的载片装置，其特征在于，所述支撑组件包括冷却盘及加热丝，所述冷却盘内开设有供冷却液流过的冷却流道，所述加热丝嵌设于所述冷却盘并能够对所述承载面加热，多个所述隔热柱将所述冷却盘连接于所述底座上。

4.根据权利要求3所述的载片装置，其特征在于，所述加热丝在所述冷却盘上形成有多个相互嵌套的环形加热区域，在由所述冷却盘的中心到边缘的方向上，多个所述环形加热区域内的所述加热丝的功率密度递增。

5.根据权利要求4所述的载片装置，其特征在于，所述加热丝呈螺旋线状，且在由所述冷却盘的中心到边缘的方向上，相邻两圈所述加热丝之间的间距递减。

6.根据权利要求3所述的载片装置，其特征在于，所述隔热柱在所述冷却盘上的位置与所述加热丝错开。

7.根据权利要求1所述的载片装置，其特征在于，所述隔热柱为陶瓷柱。

8.根据权利要求1所述的载片装置，其特征在于，一部分所述隔热柱沿所述底座的边缘间隔设置，另一部分所述隔热柱设置于所述底座的中部，位于所述底座的边缘的所述隔热柱一端与所述底座固定连接，另一端与所述支撑组件抵接，位于所述底座中部的所述隔热柱的两端分别与所述底座及所述支撑组件固定连接。

9.根据权利要求8所述的载片装置，其特征在于，所述隔热柱为中空结构，位于所述底座中部的所述隔热柱通过锁紧螺栓与所述底座及所述支撑组件固定连接，所述锁紧螺栓穿过所述隔热柱并与所述底座及所述支撑组件螺合。

10.一种探针台设备，其特征在于，包括探针台主体及如上述权利要求1至9任一项所述的载片装置，所述载片装置的所述底座安装于所述探针台主体。