[实用新型]气体反应设备的互锁系统及气体反应设备有效
| 申请号： | 202320172834.5 | 申请日： | 2023-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN219334128U | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 张善鹏 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01J4/00 | 分类号： | B01J4/00 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 马瑞 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气体反应设备的互锁系统及气体反应设备，气体反应设备的反应腔体设置有多路第一进气管路和一路第二进气管路，且每个第一进气管路中设置有第一电磁阀，第二进气管路中设置有第二电磁阀，第一进气管路用于通入第一气体，第二进气管路用于通入第二气体，第一气体与第二气体不同；PLC的一个第一输出引脚通过一个继电器的常开触点与一个第一电磁阀连接，用于控制第一电磁阀的通断状态；PLC的一个第二输出引脚通过所有继电器一个常闭触点与第二电磁阀连接，用于控制第二电磁阀的通断状态；PLC的第三输出引脚通过所有并联的继电器的线圈与公共接线端连接。本实施例实现了两种气体的通气互锁。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 反应 设备 互锁 系统 | ||
【主权项】：
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