[实用新型]气体反应设备的互锁系统及气体反应设备

权利要求书

1.一种气体反应设备的互锁系统，其特征在于，包括：可编程逻辑控制器PLC和继电器，所述继电器设置有M个常开触点和K个常闭触点；

所述气体反应设备的反应腔体设置有多路第一进气管路和一路第二进气管路，且每个所述第一进气管路中设置有第一电磁阀，用于控制所述第一进气管路的通气状态，所述第二进气管路中设置有第二电磁阀，用于控制所述第二进气管路的通气状态，所述第一进气管路用于通入第一气体，所述第二进气管路用于通入第二气体，所述第一气体与所述第二气体不同；

所述PLC的一个第一输出引脚通过一个所述继电器的常开触点与一个所述第一电磁阀连接，用于控制所述第一电磁阀的通断状态；

所述PLC的一个第二输出引脚通过所有所述继电器一个常闭触点与所述第二电磁阀连接，用于控制所述第二电磁阀的通断状态；

所述PLC的第三输出引脚通过并联的所有所述继电器的线圈与公共接线端连接，且所述第一电磁阀和所述第二电磁阀与公共接线端连接。

2.根据权利要求1所述的气体反应设备的互锁系统，其特征在于，在通过所述PLC为所述继电器供电的情况下，所述PLC的输出电压为24V，所述公共接线端的电压为0V。

3.根据权利要求1所述的气体反应设备的互锁系统，其特征在于，所述互锁系统还包括供电电源，所述供电电源与所述继电器连接，用于对所述继电器进行供电。

4.根据权利要求1所述的气体反应设备的互锁系统，其特征在于，所述继电器设置有3个常开触点和1个常闭触点。

5.根据权利要求4所述的气体反应设备的互锁系统，其特征在于，所述反应腔体设置有6路第一进气管路，所述继电器的数量为两个。

6.根据权利要求1所述的气体反应设备的互锁系统，其特征在于，所述第一气体为硅甲烷SIH4，所述第二气体为三氟化氯CLF3。

7.一种气体反应设备，其特征在于，包括反应腔体和互锁系统；

所述反应腔体设置有多路第一进气管路和一路第二进气管路，且每个所述第一进气管路中设置有第一电磁阀，用于控制所述第一进气管路的通气状态，所述第二进气管路中设置有第二电磁阀，用于控制所述第二进气管路的通气状态，所述第一进气管路用于通入第一气体，所述第二进气管路用于通入第二气体，所述第一气体与所述第二气体不同；

所述互锁系统包括可编程逻辑控制器PLC和继电器，所述继电器设置有M个常开触点和K个常闭触点；

所述PLC的一个第一输出引脚通过一个所述继电器的常开触点与一个所述第一电磁阀连接，用于控制所述第一电磁阀的通断状态；

所述PLC的一个第二输出引脚通过所有所述继电器一个常闭触点与所述第二电磁阀连接，用于控制所述第二电磁阀的通断状态；

所述PLC的第三输出引脚通过并联的所有所述继电器的线圈与公共接线端连接，且所述第一电磁阀和所述第二电磁阀与公共接线端连接。

8.根据权利要求7所述的气体反应设备，其特征在于，所述继电器设置有3个常开触点和1个常闭触点。

9.根据权利要求8所述的气体反应设备，其特征在于，所述反应腔体设置有6路第一进气管路，所述继电器的数量为两个。

10.根据权利要求7所述的气体反应设备，其特征在于，所述第一气体为硅甲烷SIH4，所述第二气体为三氟化氯CLF3。