[实用新型]气体反应设备的互锁系统及气体反应设备

说明书

本实用新型公开了一种气体反应设备的互锁系统及气体反应设备，气体反应设备的反应腔体设置有多路第一进气管路和一路第二进气管路，且每个第一进气管路中设置有第一电磁阀，第二进气管路中设置有第二电磁阀，第一进气管路用于通入第一气体，第二进气管路用于通入第二气体，第一气体与第二气体不同；PLC的一个第一输出引脚通过一个继电器的常开触点与一个第一电磁阀连接，用于控制第一电磁阀的通断状态；PLC的一个第二输出引脚通过所有继电器一个常闭触点与第二电磁阀连接，用于控制第二电磁阀的通断状态；PLC的第三输出引脚通过所有并联的继电器的线圈与公共接线端连接。本实施例实现了两种气体的通气互锁。

技术领域

本申请属于工艺设备技术领域，具体涉及一种气体反应设备的互锁系统及气体反应设备。

背景技术

在立式炉管设备中，通常会使用一些特种气体，这些气体通常是易燃易爆、遇空气会燃烧等十分危险的气体；此外，在同一个设备中有时可能会存在多种这样的气体，通常这些气体之间会有不能混合存在的特性，如混合后会燃烧、爆炸、剧烈反应并生成有毒有害产物等。

而在一种生产场景中，在同一个设备中这些特种气体通常用于不同的工艺步骤，所以当设备中存在多种特种气体且每种气体之间又不能混合存在时，就需要对这些特种气体进行专门的安全互锁设计，以保证每种气体之间不能混合存在，以保证设备及人员的安全。

实用新型内容

本申请实施例提供一种气体反应设备的互锁系统及气体反应设备，以保证气体反应设备中每种气体之间不能混合存在，从而保证设备及人员的安全。

第一方面，本申请实施例提供了一种气体反应设备的互锁系统，包括：可编程逻辑控制器PLC和继电器，所述继电器设置有M个常开触点和K个常闭触点；

所述气体反应设备的反应腔体设置有多路第一进气管路和一路第二进气管路，且每个所述第一进气管路中设置有第一电磁阀，用于控制所述第一进气管路的通气状态，所述第二进气管路中设置有第二电磁阀，用于控制所述第二进气管路的通气状态，所述第一进气管路用于通入第一气体，所述第二进气管路用于通入第二气体，所述第一气体与所述第二气体不同；

所述PLC的一个第一输出引脚通过一个所述继电器的常开触点与一个所述第一电磁阀连接，用于控制所述第一电磁阀的通断状态；

所述PLC的一个第二输出引脚通过所有所述继电器一个常闭触点与所述第二电磁阀连接，用于控制所述第二电磁阀的通断状态；

所述PLC的第三输出引脚通过并联的所有所述继电器的线圈与公共接线端连接，且所述第一电磁阀和所述第二电磁阀与公共接线端连接。

在一种实施例中，在通过所述PLC为所述继电器供电的情况下，所述PLC的输出电压为24V，所述公共接线端的电压为0V。

在一种实施例中，所述互锁系统还包括供电电源，所述供电电源与所述继电器连接，用于对所述继电器进行供电。

在一种实施例中，所述继电器设置有3个常开触点和1个常闭触点。

在一种实施例中，所述反应腔体设置有6路第一进气管路，所述继电器的数量为两个。

在一种实施例中，所述第一气体为硅甲烷SIH4，所述第二气体为三氟化氯CLF3。

第二方面，本实施例提供一种气体反应设备，包括反应腔体和互锁系统；

所述反应腔体设置有多路第一进气管路和一路第二进气管路，且每个所述第一进气管路中设置有第一电磁阀，用于控制所述第一进气管路的通气状态，所述第二进气管路中设置有第二电磁阀，用于控制所述第二进气管路的通气状态，所述第一进气管路用于通入第一气体，所述第二进气管路用于通入第二气体，所述第一气体与所述第二气体不同；

所述互锁系统包括可编程逻辑控制器PLC和继电器，所述继电器设置有M个常开触点和K个常闭触点；