[实用新型]籽晶粘接装置有效
申请号: | 202320162072.0 | 申请日: | 2023-01-28 |
公开(公告)号: | CN218812252U | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 请求不公布姓名 | 申请(专利权)人: | 通威微电子有限公司 |
主分类号: | C30B33/06 | 分类号: | C30B33/06 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 张洋 |
地址: | 610200 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型的实施例提供了一种籽晶粘接装置,涉及籽晶粘接技术领域。该籽晶粘接装置包括载台、压盘以及超声换能器。载台用于承载籽晶托,其中,籽晶托上设置有粘接剂以及待粘接的籽晶。压盘用于给籽晶通过粘接剂粘接至籽晶托上提供贴合压力。超声换能器用于产生超声波,以在籽晶粘接过程中作用于粘接剂。利用超声波的空化作用,粘接剂中产生大量空化气泡,随着空化气泡的产生和爆破产生微湍流和液体射流,造成剧烈的搅拌和传质过程。粘接剂内的气泡加速融合移动到粘接剂表面,并且,空化作用对粘接剂中有效成分进行分散和解团聚作用,能有效保持粘接剂分布的均一性。同时,通过压盘对籽晶进行施压,可以加速气体的释放。 | ||
搜索关键词: | 籽晶 装置 | ||
【主权项】:
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