[实用新型]籽晶粘接装置

权利要求书

1.一种籽晶粘接装置，其特征在于，包括：

载台(10)，所述载台(10)用于承载籽晶托(203)，其中，所述籽晶托(203)上设置有粘接剂(202)以及待粘接的籽晶(201)；

压盘(20)，所述压盘(20)用于给籽晶(201)通过粘接剂(202)粘接至籽晶托(203)上提供贴合压力；以及

超声换能器(30)，所述超声换能器(30)用于产生超声波，以在所述籽晶(201)粘接过程中作用于所述粘接剂(202)。

2.根据权利要求1所述的籽晶粘接装置，其特征在于，所述超声换能器(30)设置于所述压盘(20)。

3.根据权利要求2所述的籽晶粘接装置，其特征在于，所述超声换能器(30)集成在所述压盘(20)的内部；所述超声换能器(30)的数量为多个，且均布于所述压盘(20)；或，所述超声换能器(30)的数量为一个，且分布于所述压盘(20)的中心。

4.根据权利要求1所述的籽晶粘接装置，其特征在于，所述超声换能器(30)设置于所述载台(10)。

5.根据权利要求4所述的籽晶粘接装置，其特征在于，所述超声换能器(30)集成在所述载台(10)的内部；所述超声换能器(30)的数量为多个，且均布于所述载台(10)，或，所述超声换能器(30)的数量为一个，且分布于所述载台(10)的中心。

6.根据权利要求1-5任一项所述的籽晶粘接装置，其特征在于，所述籽晶粘接装置(100)还包括腔体(40)，所述载台(10)和所述压盘(20)均位于所述腔体(40)内。

7.根据权利要求6所述的籽晶粘接装置，其特征在于，所述压盘(20)可升降地连接于所述腔体(40)，以使得所述压盘(20)可靠近或远离所述载台(10)，从而使得所述压盘(20)和所述载台(10)可分别压接所述籽晶(201)和所述籽晶托(203)。

8.根据权利要求6所述的籽晶粘接装置，其特征在于，所述载台(10)可升降地连接于所述腔体(40)，以使得所述载台(10)可靠近或远离所述压盘(20)，从而使得所述压盘(20)和所述载台(10)可分别压接所述籽晶(201)和所述籽晶托(203)。

9.根据权利要求6所述的籽晶粘接装置，其特征在于，所述籽晶粘接装置(100)还包括抽真空设备(50)，所述抽真空设备(50)与所述腔体(40)连通，所述抽真空设备(50)用于对所述腔体(40)抽真空。

10.根据权利要求1-5任一项所述的籽晶粘接装置，其特征在于，所述籽晶粘接装置(100)还包括加热器(60)，所述加热器(60)设置于所述载台(10)，或，所述加热器(60)设置于所述压盘(20)；所述加热器(60)用于提供所述籽晶(201)通过所述粘接剂(202)粘接至所述籽晶托(203)上的粘接热量。