[实用新型]一种一体式光纤MEMS麦克风探头及光纤MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202320111606.7 | 申请日： | 2023-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN219087309U | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 陈大鹏;冉晓芳;马律成;邬小可;王森;王一川 | 申请（专利权）人： | 江苏光微半导体有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 无锡市观知成专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 32591 | 代理人： | 陈丽丽 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及光纤麦克风技术领域，具体公开了一种一体式光纤MEMS麦克风探头及光纤MEMS麦克风，包括：声压敏感膜片，包括四周型硅支撑结构，设置在所述四周型硅支撑结构背面的保护层，以及悬空设置在所述四周型硅支撑结构正面的敏感膜片结构，所述敏感膜片结构背离悬空区域的表面形成波纹结构且设置反射金膜；玻璃基座，与所述声压敏感膜片键合连接，所述玻璃基座朝向所述声压敏感膜片的表面形成凸起部，所述凸起部上形成入射光纤通道和出射光纤通道，所述入射光纤通道和所述出射光纤通道之间呈夹角设置。本实用新型提供的一体式光纤MEMS麦克风探头不仅体积小且探测灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体式 光纤 mems 麦克风 探头 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏光微半导体有限公司，未经江苏光微半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202320111606.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电源电流检测电路
- 下一篇：一种组合装配式施工围档
