[实用新型]一种光子MEMS光纤麦克风传感器探头有效
| 申请号： | 202320111295.4 | 申请日： | 2023-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN219204687U | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 马律成;邬小可;冉晓芳;陈大鹏;王森;王一川 | 申请（专利权）人： | 江苏光微半导体有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 无锡市观知成专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 32591 | 代理人： | 陈丽丽 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体传感器技术领域，具体公开了一种光子MEMS光纤麦克风传感器探头，其中，包括：壳体，位于壳体内的插芯、芯片环和贴棉环，插芯、芯片环和贴棉环在壳体内沿光纤的入射方向依次设置；插芯包括圆锥体结构和支撑体结构，圆锥体结构与支撑体结构连接；芯片环用于固定MEMS芯片，且MEMS芯片设置在芯片环朝向圆锥体结构的表面；贴棉环设置在芯片环背离所述MEMS芯片的表面；壳体的底端设置光纤端口。本实用新型提供的光子MEMS光纤麦克风传感器探头方便了探头的加工同时提高了加工效率，且本实用新型提供的光子MEMS光纤麦克风传感器探头具有结构简单的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光子 mems 光纤 麦克风 传感器 探头 | ||
【主权项】：
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