[实用新型]一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置有效
申请号: | 202320053044.5 | 申请日: | 2023-01-09 |
公开(公告)号: | CN218946663U | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 于洁 | 申请(专利权)人: | 威海融锐软件科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/03;B23K26/067;B23K26/08 |
代理公司: | 苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙) 32344 | 代理人: | 陈良 |
地址: | 264205 山东省威海市经济技*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供了一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置,包括机壳,机壳在朝向激光切割头的一侧开设有矩形的贯通口,机壳内部为检测空腔,检测空腔的内部设置有激光灯,激光灯的尾部固定连接有连杆,连杆自检测空腔的内部从贯通口穿出,并且连杆的端部安装有固定装置。本实用新型通过分束镜将激光分成水平方向和竖直方向,并且使激光灯与激光切割头同步运动,使激光灯具有与激光切割头相同的运动轨迹,如此可通过监控激光灯来代替监控激光切割头。激光灯在前后、左右、上下三个维度上产生的位移距离均可通过水平光线和竖直光线被监控到,由此实现对激光切割头三个维度上的监控,使监控更全面。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 机器 视觉 切割 监控 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于威海融锐软件科技有限公司,未经威海融锐软件科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202320053044.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:智能箱泵一体水箱
- 下一篇:一种防止混凝土凝固的混凝土泵车