[实用新型]一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置

权利要求书

1.一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置，其特征在于，包括机壳，所述机壳在朝向激光切割头的一侧开设有矩形的贯通口，机壳内部为检测空腔，检测空腔的内部设置有激光灯，激光灯的尾部固定连接有连杆，连杆自检测空腔的内部从贯通口穿出，并且连杆的端部安装有固定装置；所述激光灯在检测空腔内水平设置；

所述激光灯的头端固定连接有将激光灯射出光线分成两个相互垂直光线的分束镜，在分束镜的两个射出方向对应的机壳内壁上均安装有检测盘，检测盘上均匀设置有多个光敏传感器，多个光敏传感器均与控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置，其特征在于，所述固定装置固定连接在激光切割头上，且激光灯的光轴与激光切割头的光轴垂直。

3.根据权利要求2所述的一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置，其特征在于，所述固定装置为机械吸盘。

4.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置，其特征在于，所述机壳的下端固定连接有视觉箱，视觉箱的顶壁安装有CCD摄像头，CCD摄像头光轴与激光切割头光轴平行；视觉箱的底壁上设置有镜架，镜架上安装有凸透镜，凸透镜位于CCD摄像头的光轴上。

5.根据权利要求4所述的一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置，其特征在于，所述镜架上还安装有滤光片，滤光片位于CCD摄像头的光轴上。

6.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置，其特征在于，所述机壳的上端或下端安装有连接结构，所述机壳通过连接结构与晶圆切割机床相固定。

7.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置，其特征在于，所述光敏传感器在检测盘上呈矩阵状排列分布或多圆环状排列分布。