[发明专利]基于蓝宝石衬底外延的准垂直器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202311201390.4 | 申请日： | 2023-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN116936613A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张泽雨林;张春福;刘丁赫;陈大正;赵胜雷;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/267 | 分类号： | H01L29/267;H01L21/365;H01L21/02 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710071 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于蓝宝石衬底外延的准垂直器件及其制备方法，包括：衬底；p型氧化物异质外延层，位于衬底上；氧化镓外延层，位于p型氧化物异质外延层上；p型氧化物异质外延层与氧化镓外延层共同组成复合栅结构；阴极金属，位于氧化镓外延层上；阳极金属，位于p型氧化物异质外延层上，且至少部分环绕氧化镓外延层；通过阴极金属和阳极金属向复合栅结构施加偏置电压；其中，p型氧化物异质外延层、阳极金属、氧化镓外延层和阴极金属共同组成异质pn结准垂直器件。本发明能够扩大氧化镓外延薄膜器件的应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 蓝宝石 衬底 外延 垂直 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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