[发明专利]超短脉冲激光加工方法及系统在审

专利信息
申请号: 202311152526.7 申请日: 2023-09-08
公开(公告)号: CN116921852A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 李志鹏;刘海旭;靳萌萌;盛希;左敦稳 申请(专利权)人: 南京航空航天大学
主分类号: B23K26/00 分类号: B23K26/00;B23K26/352
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 常祖正
地址: 210016 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种超短脉冲激光加工方法,涉及单晶4H‑SiC等硬脆材料的加工技术领域,主要包括以下步骤:S1、通过超短脉冲激光对工件的待加工表面进行预处理;S2、对经预处理后的所述工件的待加工表面进行抛光处理。本发明中还公开了一种超短脉冲激光加工系统,用于实施上述的超短脉冲激光加工方法,主要包括超短脉冲激光器和抛光机。本发明能够降低工件材料表面/亚表面损伤,并提高加工效率。
搜索关键词: 超短 脉冲 激光 加工 方法 系统
【主权项】:
暂无信息
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