[发明专利]超短脉冲激光加工方法及系统在审
申请号: | 202311152526.7 | 申请日: | 2023-09-08 |
公开(公告)号: | CN116921852A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 李志鹏;刘海旭;靳萌萌;盛希;左敦稳 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;B23K26/352 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 常祖正 |
地址: | 210016 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种超短脉冲激光加工方法,涉及单晶4H‑SiC等硬脆材料的加工技术领域,主要包括以下步骤:S1、通过超短脉冲激光对工件的待加工表面进行预处理;S2、对经预处理后的所述工件的待加工表面进行抛光处理。本发明中还公开了一种超短脉冲激光加工系统,用于实施上述的超短脉冲激光加工方法,主要包括超短脉冲激光器和抛光机。本发明能够降低工件材料表面/亚表面损伤,并提高加工效率。 | ||
搜索关键词: | 超短 脉冲 激光 加工 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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