[发明专利]基于干涉测量的滚转角测试装置及测试方法在审
申请号: | 202311088443.6 | 申请日: | 2023-08-28 |
公开(公告)号: | CN116772750A | 公开(公告)日: | 2023-09-19 |
发明(设计)人: | 黎发志;王苹;张柯;胡芬;程莹;陈彧龙;贺瑶;周子元 | 申请(专利权)人: | 南京英田光学工程股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 许小莉 |
地址: | 210028 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种基于干涉测量的滚转角测试装置及测试方法。本发明的测试装置包括一台干涉仪、棱镜A和棱镜B;干涉仪的一侧设置棱镜A,干涉仪出射的平行光束经棱镜A折射后,光线垂直入射至棱镜B的斜面,经棱镜B斜面反射后光线原路返回干涉仪进行测试;棱镜B底面与被测工件端面连接;所述棱镜A和棱镜B的棱,与被测工件中心轴线垂直相交。本发明可以采用常规干涉仪测试工件滚转角偏差,属于非接触式测量、且测试时工件可沿其中心轴线方向前后移动,测试方法简单灵活,为高精度小角度滚转角测试以及实际应用提供更准确的测试数据。 | ||
搜索关键词: | 基于 干涉 测量 转角 测试 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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