[发明专利]具液膜厚度调节装置的干燥腔室及液膜厚度调节方法在审
| 申请号： | 202311054392.5 | 申请日： | 2023-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN116929018A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张为强;王嘉琪;刘福强;张博;张康 | 申请（专利权）人： | 北京晶亦精微科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B5/08;F26B25/00;F26B25/02;F26B25/18 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 向森 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具液膜厚度调节装置的干燥腔室及液膜厚度调节方法，具液膜厚度调节装置的干燥腔室包括干燥腔、主动模块、以及装设于干燥腔内的从动模块；主动模块包括电机以及主磁性转子组件，主磁性转子组件与干燥腔的底壁间隙设置；从动模块包括转动装设于干燥腔的底壁上的副磁性转子组件，副磁性转子组件与主磁性转子组件相对设置，副磁性转子组件上远离主磁性转子组件的一端固定连接有锁紧装置，锁紧装置适于锁紧待干燥元件，主动模块包括工作状态和非工作状态，在工作状态，电机驱动主磁性转子组件转动，转动的主磁性转子组件驱动副磁性转子组件转动，以带动锁紧装置、待干燥元件转动。可提高待干燥元件上液膜厚度一致性和干燥效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具液膜 厚度 调节 装置 干燥 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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