[发明专利]一种平面结构超晶格红外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种平面结构超晶格红外探测器及其制备方法，属于探测器技术领域，平面结构超晶格红外探测器，包括：N型GaSb衬底、外延层、第一电极、第二电极、钝化层和读出电路；外延层在远离N型GaSb衬底的方向依次叠层设置GaSb缓冲层、N型掺杂缓冲层、第一超晶格接触层、吸收层、障壁层和第二超晶格接触层；N型结构的第一超晶格接触层和P型结构的第二超晶格接触层之间形成内建电场；吸收层分别与第一超晶格接触层和第二超晶格接触层形成第一量子阱和第二量子阱；N型GaSb衬底和外延层形成凸型表面，钝化层覆盖凸型表面；钝化层上开设有电极通道，第一电极和第二电极分别设置于电极通道上。