[发明专利]一种电子元件用的真空蒸镀膜设备在审

专利信息
申请号: 202310999870.3 申请日: 2023-08-10
公开(公告)号: CN116716582A 公开(公告)日: 2023-09-08
发明(设计)人: 庄伟东 申请(专利权)人: 南京银茂微电子制造有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/50
代理公司: 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 代理人: 崔建章
地址: 211200 *** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及镀膜设备技术领域,具体为一种电子元件用的真空蒸镀膜设备,包括真空蒸镀膜设备本体,所述真空蒸镀膜设备本体的外侧固定安装有显示屏,且真空蒸镀膜设备本体上铰接有密封门,真空蒸镀膜设备本体的内部靠近显示屏的一端固定设置有支撑板,在真空镀膜设备的内部设置有电子元件放置板,在进行镀膜时将电子元件放入到电子元件放置板上的放置通孔中进行镀膜,当其一表面镀膜完成后,启动电动伸缩杆带动活动驱动板进行移动,进而可以带动电子元件放置板进行翻转,进而实现电子元件的翻转,进行另一表面的镀膜,整个过程无需人工操作,非常的方便且便捷,不仅降低了工作人员的工作强度,同时也使得镀膜的工作效率得到提升。
搜索关键词: 一种 电子元件 真空 镀膜 设备
【主权项】:
暂无信息
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