[发明专利]用于制造薄膜体声波谐振器FBAR滤波装置的方法在审
| 申请号： | 202310969496.2 | 申请日： | 2023-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN116707477A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 王健;邹洁;唐供宾 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 武旭妹 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供一种用于制造薄膜体声波谐振器FBAR滤波装置的方法，包括：在压电层的第一表面，形成第一谐振器和第二谐振器各自的第一电极；在第一谐振器的第一电极和第二谐振器的第一电极，形成对应的第一谐振器的第一钝化层和第二谐振器的第一钝化层；在压电层的第二表面，形成第一谐振器和第二谐振器各自的第二电极，第二表面与第一表面相对；对形成的FBAR滤波装置进行射频性能测试；基于射频性能测试的结果，调整第一谐振器的第二电极的厚度；以及在第一谐振器的第二电极和第二谐振器的第二电极，形成对应的第一谐振器的第二钝化层和第二谐振器的第二钝化层。RF性能测试的结果调整电极或钝化层的厚度，提高整个晶圆片的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 薄膜 声波 谐振器 fbar 滤波 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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