[发明专利]一种电极延长杆及其应用方法在审
| 申请号： | 202310969441.1 | 申请日： | 2023-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN116676581A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 梁素霞;邹盛;董源;张文君;于天宇;苏杰 | 申请（专利权）人： | 杭州众能光电科技有限公司;杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市钱*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电极延长杆及其应用方法，其中电极延长杆包括：电极棒，所述电极棒用于带动样品载体沿电极棒轴向运动；电极底座，所述电极底座设有两个安装孔，所述安装孔用于装配电极棒；环形安装片，所述环形安装片设有两个，且分别固定安装于两根电极棒，所述环形安装片设有环形导槽；样品载体，所述样品载体两端分别安装于两个环形安装片的环形导槽中，所述样品载体的两端可沿环形导槽滑动；其中所述电极底座密封安装于真空设备的底部。可以快速地调节蒸发源到基片的垂直距离，也可以在水平面上灵活地调节蒸发源相对基片的蒸发位点和角度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 延长 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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