[发明专利]入射增强的超晶格红外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供一种入射增强的超晶格红外探测器及其制备方法，超晶格红外探测器包括：红外材料，红外材料包括衬底和外延材料，所述外延材料设置在所述衬底上；互联结构；读出电路芯片，所述读出电路芯片通过所述互联结构与所述外延材料相连接；以及抗反膜，所述抗反膜设置在所述衬底的与所述外延材料相对的另一侧，所述抗反膜上设置有多个凹陷。根据本发明实施例的入射增强的超晶格红外探测器及其制备方法，通过在抗反膜上设置两种厚度，增强了对于两种波长红外信号的入射效果，以低成本的方式提升了超晶格红外探测器对于红外辐射的吸收量，提升了对于红外信号的检测能力并优化了成像效果。