[发明专利]一种原子层沉积设备用气体过滤设备在审
| 申请号： | 202310947568.3 | 申请日： | 2023-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN116943864A | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 金在宽;宋广伟;南炳允 | 申请（专利权）人： | 东领科技装备有限公司 |
| 主分类号： | B03C3/017 | 分类号： | B03C3/017;B03C3/011;B03C3/76 |
| 代理公司： | 北京中企讯专利代理事务所(普通合伙) 11677 | 代理人： | 杨科 |
| 地址： | 215212 江苏省苏州市吴江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种原子层沉积设备用气体过滤设备，涉及原子层沉积技术领域。本发明包括底板，底板的顶部固定安装有固定杆，固定杆的数量为两组且呈平行对应设置，固定杆的对应侧壁滑动设置有活动杆，活动杆与固定杆的连接处设置有高度调节结构，活动杆的对应侧壁固定安装有处理箱，处理箱的顶部正中处固定安装有进料管。本发明通过设置静电吸尘板替代传统的过滤网对气体进行过滤，从而有效的避免了细小的粉末采用孔隙较小的过滤网，在遇到粒径较大的粉末时，极易发生堵塞现象的情况出现，同时采用交错设置的静电吸尘板配合分流管，能够有效的将气体内的粉尘进行阶梯式过滤，从而保证了过滤效果，大大提高了装置的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 沉积 备用 气体 过滤 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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