[发明专利]一种等离子粉末处理装置有效
| 申请号： | 202310923839.1 | 申请日： | 2023-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN116666178B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 孙宝静;胡小龙;张伟 | 申请（专利权）人： | 离享未来（德州）等离子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/16;H01J37/02;H01J37/317 |
| 代理公司： | 济南龙瑞知识产权代理有限公司 37272 | 代理人： | 白彦 |
| 地址： | 253000 山东省德州市经济技术开发区袁桥镇崇德*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于等离子技术领域，特别涉及一种等离子粉末处理装置，包括主机壳体，所述主机壳体分为上仓、下仓和中间仓；所述上仓内放置有主控电路，所述下仓内放置有真空泵组件，所述中间仓内放置有处理组件；所述处理组件包括真空腔体，所述真空腔体的中央设有等离子体组件，所述真空腔体的一侧设有工艺气体入口，所述工艺气体入口和气体源通过管路相连；所述真空腔体上还设有抽气口，所述抽气口通过管路和真空泵组件的螺纹管相连；所述抽气管路上设有抽气电磁阀，通过将等离子体组件设计为可旋转式，从而带动样品粉末滚动，实现360°无死角等离子处理，极大地提升了等离子处理的均匀性和有效性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 粉末 处理 装置 | ||
【主权项】：
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