[发明专利]一种具有安全保护机制的准分子激光装置及控制方法

摘要

本发明的目的是提供一种具有安全保护机制的准分子激光装置及控制方法，通过在在激光装置内部的多个重要部件上部署温控装置，并且将所有温控装置进行PID多级联动，根据预设的各部件温度波动对其他部件温度波动所产生的影响，建立一套PID控制数学模型，通过预设的PID控制算法来联动控制所有温控装置进行控温。本发明能够对整机进行温度多级联动控制，保证设备的运行温度稳定性、安全性，避免准分子激光装置过载导致的温度失控，进一步保障设备安全。并且本发明中设置有光学延时组件，利用不同的光纤光程来实现不同的激光延时组合，可以控制两路激光是否叠加、何时叠加，从而实现装置的激光方案多样性。