[发明专利]多尺寸兼容的检验机工作台

摘要

本发明公开了多尺寸兼容的检验机工作台，包括工作台主体用于放置晶圆，所述工作台主体内部设置有多组真空吸附结构，通过多组真空吸附结构能够在工作台主体上固定放置多尺寸的晶圆，方便多尺寸的晶圆检验；底座用于工作台主体的支撑安装。本发明通过设计一种多尺寸兼容的工作台，一个工作台同时满足4寸、6寸、8寸、12寸圆片，以及切割后的6寸、8寸、12寸带铁环产品的检验需求，在检验多尺寸的产品时无需频繁更换工作台，能够适用于多尺寸晶圆产品在不同生产阶段的检验，具有较强的适用性，节省了机器校准、调试时间，提高生产效率，同时避免频繁修改机器硬件，确保检验结果的准确性。