[发明专利]一种射频平面阴极在审
| 申请号： | 202310869021.6 | 申请日： | 2023-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN116590681A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 任小体;刘远畅;朱开健 | 申请（专利权）人： | 中科纳微真空科技（合肥）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01J37/34 |
| 代理公司： | 合肥金律专利代理事务所(普通合伙) 34184 | 代理人： | 段晓微 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频平面阴极，阴极组件上设有多个射频接口，射频接电端头分别与多个射频接口连接，且射频接电端头至任一射频接口之间阻抗相等。通过上述优化设计的射频平面阴极，通过射频接电端头至接电点阻抗相等，使得射频功率在阴极组件上均匀分布，使得接电点可获得相同电压等电位点，保证靶材利用率的同时，大大提高镀膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 平面 阴极 | ||
【主权项】：
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