[发明专利]一种光刻机掩膜台在审
| 申请号： | 202310846947.3 | 申请日： | 2023-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN116931385A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王运钢;章广飞;薛业保;李文静 | 申请（专利权）人： | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 刘吉意 |
| 地址： | 230051 安徽省合肥市包河经济开发*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机掩膜台，涉及光刻机定位工装技术领域，包括可移动的第一对位座和第二对位座，所述第一对位座、第二对位座的相对侧形成可容纳掩模版置入的空间，所述第一对位座、第二对位座的两侧分别通过联动载板相连接。还包括有设置于第一对位座、第二对位座内侧的第一安装板、第二安装板，所述第一安装板远离第二安装板的一端固定连接有随动板。本发明便于取下掩模版，实施掩模版的下料、清洁操作，同时便于更换后的掩膜版重新置入。并且，可减少激光切割工作过程中的热量对顶升单元内部的结构所产生的影响，顶升单元的占用面积和重量，减少惯性作用力，保障了第一对位座、第二对位座的移动过程中的精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机掩膜台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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