[发明专利]基于双基准物的差压法小CD球检漏装置及方法在审
申请号: | 202310835320.8 | 申请日: | 2023-07-07 |
公开(公告)号: | CN116929663A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 李俊杰;赵宏伟;沈东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
主分类号: | G01M3/26 | 分类号: | G01M3/26;G01M3/20 |
代理公司: | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人: | 杜丹丹 |
地址: | 230031 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开基于双基准物的差压法小CD球检漏装置,包括真空泵、第一基准物、第二基准物、差压传感器、检漏组件、控制箱,第一基准物一端与小CD球连接、另一端与真空泵连接,第二基准物的一端与小CD球连接、另一端与真空泵连接;差压传感器的两端分别与第一基准物以及第二基准物连接;第一基准物与第二基准物为相同件;检漏组件连接小CD球;控制箱包括箱体和控制器,第一基准物、第二基准物、差压传感器、检漏组件均与控制器连接,且均位于箱体内,控制箱置于小车上。本发明的有益效果:消除了温度、压力对检测结果的影响,漏率值精确,扩大了低漏率测量范围,整体及局部检漏采用全自动控制,提高了检漏效率,达到了预期目标。 | ||
搜索关键词: | 基于 基准 差压法小 cd 检漏 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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