[发明专利]基于双基准物的差压法小CD球检漏装置及方法在审

专利信息
申请号: 202310835320.8 申请日: 2023-07-07
公开(公告)号: CN116929663A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 李俊杰;赵宏伟;沈东 申请(专利权)人: 中国科学院合肥物质科学研究院
主分类号: G01M3/26 分类号: G01M3/26;G01M3/20
代理公司: 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 代理人: 杜丹丹
地址: 230031 安徽*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开基于双基准物的差压法小CD球检漏装置,包括真空泵、第一基准物、第二基准物、差压传感器、检漏组件、控制箱,第一基准物一端与小CD球连接、另一端与真空泵连接,第二基准物的一端与小CD球连接、另一端与真空泵连接;差压传感器的两端分别与第一基准物以及第二基准物连接;第一基准物与第二基准物为相同件;检漏组件连接小CD球;控制箱包括箱体和控制器,第一基准物、第二基准物、差压传感器、检漏组件均与控制器连接,且均位于箱体内,控制箱置于小车上。本发明的有益效果:消除了温度、压力对检测结果的影响,漏率值精确,扩大了低漏率测量范围,整体及局部检漏采用全自动控制,提高了检漏效率,达到了预期目标。
搜索关键词: 基于 基准 差压法小 cd 检漏 装置 方法
【主权项】:
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