[发明专利]一种直通密封型真空角阀及其组装方法在审
| 申请号： | 202310832017.2 | 申请日： | 2023-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN116592146A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 朱永超;胡能;刘阳 | 申请（专利权）人： | 长沙华实半导体有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/36 | 分类号： | F16K1/36;F16K1/32;F16K27/02;F16K37/00;F16K41/06 |
| 代理公司： | 湖南晓德专利代理事务所(普通合伙) 43281 | 代理人： | 王兴 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳市高*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种直通密封型真空角阀，属于半导体真空阀门技术领域，包括气缸和阀体，气缸内设置有用于启闭阀体内腔的执行机构组件，所述执行机构组件包括活塞、阀杆、阀门和直通密封罩，直通密封罩设置气缸底部，与气缸壁之间组合形成腔体体积不变的密封腔；气缸上设有通气孔，气缸上设有第一导向孔，用于阀杆穿过气缸与活塞连接；直通密封罩上设有第二导向孔，用于阀杆穿过直通密封罩与阀门连接；第一导向孔与第二导向孔内设有密封圈；由于阀杆的两端分别穿过第一导向孔与第二导向孔，因此在进行阀门开合时，直通型密封罩内腔容积不变，可以取消现有常用结构中的排气通道，可以避免外界的空气带入杂质，影响阀体的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直通 密封 真空 及其 组装 方法 | ||
【主权项】：
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