[发明专利]一种直通密封型真空角阀及其组装方法

说明书

一种直通密封型真空角阀，属于半导体真空阀门技术领域，包括气缸和阀体，气缸内设置有用于启闭阀体内腔的执行机构组件，所述执行机构组件包括活塞、阀杆、阀门和直通密封罩，直通密封罩设置气缸底部，与气缸壁之间组合形成腔体体积不变的密封腔；气缸上设有通气孔，气缸上设有第一导向孔，用于阀杆穿过气缸与活塞连接；直通密封罩上设有第二导向孔，用于阀杆穿过直通密封罩与阀门连接；第一导向孔与第二导向孔内设有密封圈；由于阀杆的两端分别穿过第一导向孔与第二导向孔，因此在进行阀门开合时，直通型密封罩内腔容积不变，可以取消现有常用结构中的排气通道，可以避免外界的空气带入杂质，影响阀体的使用寿命。

技术领域

本发明属于半导体真空阀门技术领域，具体为一种直通密封型真空角阀及其组装方法。

背景技术

“真空角阀”的运用中，起到对应管道中介质流动开关的作用，须防止管道中介质与管道外部大气互相泄漏（如：管道内化学介质外泄污染环境、外部大体进入管道内破环管道原有介质成分等），同时也能保护执行机构内部部件（如：阀杆、弹簧等），防止介质对其造成腐蚀等。即确保管道内介质与外部环境及阀门内部执行机构隔绝开来。为实现这一目的，“半导体真空角阀”常用的密封类型可分为：波纹管密封型和馈通密封型。

其次当“真空角阀”运用到较为恶劣的外部环境中时（如：环境中含有杂质、粉尘颗粒较多），需防止外部外界杂质和空气等进入阀内，随着阀门的动作，这些外部的物质可能吸入到阀门内部执行机构，容易造成执行机构内部污染缩短使用寿命甚至直接抱死。而常用波纹管密封型和馈通密封型当阀门动作时，其对应的内腔容积会产生相应变化，因此一般会有一条排气的通道与外部环境直接连通。这样，当阀门运动时由于内腔容积的变化将容易通过排气通道吸入外部环境的物质到阀门内部执行结构，从而对其造成污染。

发明内容

针对以上问题，本发明提供一种直通密封型真空角阀及其组装方法，由于阀杆的两端分别穿过第一导向孔与第二导向孔，因此在进行阀门开合时，直通型密封罩内腔容积不变，可以取消现有常用结构中的排气通道，可以避免外界的空气带入杂质，影响阀体的使用寿命。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种直通密封型真空角阀，包括气缸和阀体，气缸内设置有用于启闭阀体内腔的执行机构组件，所述执行机构组件包括活塞、阀杆、阀门和直通密封罩，直通密封罩设置气缸底部，与气缸壁之间组合形成腔体体积不变的密封腔；

气缸上设有通气孔，通过通气孔向气缸内注入介质驱动活塞滑动；

活塞滑动配装于气缸内，气缸上设有第一导向孔，用于阀杆穿过气缸与活塞连接；

阀门与阀体内腔的密封面相吻配，直通密封罩上设有第二导向孔，用于阀杆穿过直通密封罩与阀门连接；

第一导向孔与第二导向孔内设有密封圈。

作为上述技术方案的进一步改进，还包括阀盖，阀盖上设置有用于对活塞位移进行限位的开度限位器组件，所述开度限位器组件包括限位旋钮、限位螺杆与限位螺母；

阀盖上设有圆孔，限位螺杆滑动设在圆孔内，限位螺杆上下两端分别设有限位旋钮与限位螺母，所述限位螺母设于阀盖下的导向槽内，通过限位旋钮与限位螺杆带动限位螺母上下运动，调节活塞的运动行程。

作为上述技术方案的进一步改进，所述限位螺杆上设有连接臂，连接臂上设有导轨，所述导轨内设有位置指示器，导轨滑动设于气缸侧方的滑槽内。

作为上述技术方案的进一步改进，直通密封罩由耐腐蚀性材质制成，直通密封罩的壁厚大于或等于2mm。

作为上述技术方案的进一步改进，阀杆包括上阀杆与下阀杆，上阀杆下设有安装凸台，上阀杆穿过第一导向孔与活塞连接，安装凸台与气缸壁之间设有弹簧；

下阀杆上端与上阀杆相连接，下阀杆下端穿过第二导向孔与阀门相连接。

阀杆穿过第一导向孔与第二导向孔两端分别与活塞或阀门连接。