[发明专利]还原炉控制方法、装置、电子设备及可读存储介质在审
| 申请号： | 202310818476.5 | 申请日： | 2023-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN116929094A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王文;刘兴平;张兆东;仝少超;罗云;马东;陈娜娜;荣景豪 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司;新特硅基新材料有限公司 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00;C01B33/035;G05D27/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 刘倩兰 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请实施例提供的一种还原炉控制方法、装置、电子设备及可读存储介质，通过基于还原炉的雾化因子、速率因子、质量因子和成本因子来调节还原炉的氯硅烷流量、氯硅烷与氢气的流量比例和温度，又因为雾化因子、速率因子、质量因子和成本因子是基于还原炉的多个监测值确定的，因此相比基于单个监测值来调节还原炉，具有更可靠的调节依据，从而提高输入还原炉的氯硅烷流量、氯硅烷与氢气的流量比例和温度的调节准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 还原 控制 方法 装置 电子设备 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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