[发明专利]一种面形测量的摆臂式轮廓仪及其测量方法在审
| 申请号： | 202310797234.2 | 申请日： | 2023-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN116793292A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 马韬;彭名杰;吴刚祥 | 申请（专利权）人： | 硕美光学科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 朱振德 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种面形测量的摆臂式轮廓仪及其测量方法，包括支撑平台，支撑平台上设调整组件，支撑平台上安装第一立柱和第二立柱；测量模块包括转动架和气浮转台，气浮转台安装在转动架上，第一立柱上安装第一轴承座，第一轴承座内设置第一转轴，第二立柱上安装有第二轴承座，第二轴承座内设置有第二转轴，第二转轴一端设置第一角度编码器，转动架的一端安装在第一立柱上，另一端安装在第二立柱上，转动架在第一立柱和第二立柱之间的空间内俯仰，气浮转台铰接有摆臂，摆臂连接非接触式测头。本发明可满足从铣磨、研磨到粗抛光的非球面面形测量需求，实现任意曲率中小口径非球面光学元件的面形测量，检测效率高，运动误差来源单一，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 摆臂式 轮廓仪 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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