[发明专利]一种光刻机微动台双磁阻电机的共直流母线驱动器

摘要

本发明公开了一种光刻机微动台双磁阻电机的共直流母线驱动器；其包括输入配电单元、电源模块和并联的电机驱动单元。传统方案中采取独立的电驱系统，本发明则采取并联式的电驱单元，由于双磁阻电机各线圈的电流状态不同，在一个电机处于能量回馈母线状态时，电驱之间就进行部分能量交互，回馈的能量不必完全通过制动电阻进行耗散，从而节能减小散热，这对于对温度稳定与体积要求很高的光刻机系统而言有着重要意义。同时，针对共直流母线导致各个电驱之间通过直流母线存在一定耦合干扰问题，采取delta‑sigma+PI双环控制的方法抑制耦合误差，仿真证明了可实现高性能的电机驱动器输出。